产品型号：ATLEX-S
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
ATLEX-S系列激光器是一款非常紧凑的紫外光源，设计用于低、中占空比的OEM应用。
产品特点：
· 超紧凑的尺寸
· 超快电晕预电离技术
· HV-固态脉冲发生器
· 激光腔体<3L
· 全新技术的金属陶瓷腔
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，温度控制
· 系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
· 方便清洗的光学镜架
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· RoHS认证
产品应用：
· 光谱学
· 微加工
· 测试和测量
产品参数：
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ATLEX-S产品参数
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气体介质
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ArF
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KrF
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单位
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波长
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193
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248
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nm
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高压开关技术
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固态开关
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固态开关
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最大重复频率
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300
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500
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300
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500
|
Hz
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最大脉冲能量1
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10
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10
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15
|
15
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mJ
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最大平均功率
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2,4
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4
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4
|
6
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W
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脉冲宽度2
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5 – 8
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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4 x 6
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mm
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光束发散角2(V x H)
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1 x 2
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mrad
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能量稳定性（标准偏差）
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< 3
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%
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尺寸（长x宽x高）
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630 x 400 x 300
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mm
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重量
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65
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kg
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冷却
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Air
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电力需求
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230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
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